«Моделирование»

1 Задание: Построить математическую модель диффузионного процесса в форме краевой задачи и выписать ее аналитическое решение. Подложка: КЭФ-7,5
Вводимая примесь: Бор Тип источника: Ограниченный Температура процесса: 1150 цельсия Время процесса: 60 (мин) Дополнительные условия: Доза легирования равна 10^15 см^-2

Используя необходимые дополнительные справочные данные получить оцифрованную модель профилей легирующих примесей в кремниевой пластине и построить графики профилей в среде Mathcad. Определить следующие параметры структуры и процесса:

– поверхностную концентрацию вводимой примеси;

– коэффициент диффузии вводимой примеси;

– концентрацию примеси в подложке;

– глубину p-n-перехода;

– время диффузии, необходимое для получения глубины p-n-перехода, равной 10 мкм.

2 Задание: Диффузионные процессы-2 Предполагая, что профиль легирования диффузионного p-n-перехода описывается гауссовым распределением построить модель расчета поверхностного сопротивления Rs.

Зависимостью подвижности электронов и дырок от глубины пренебречь, считая, что подвижность равна половине от максимальной подвижности.

В среде Mathcad написать проект, позволяющий строить зависимость поверхностного сопротивления Rs от двух переменных:

- глубины p-n-перехода xj;

- поверхностной концентрации примеси.

Для своего задания вычислить величину Rs.

3 Задание: Процессы термического окисления кремния: Кремниевая пластина покрывается слоем двуокиси кремния толщиной Dox1 нм. Постройте математическую модель, позволяющую определить время для выращивания еще Dox2 нм, если параметры процесса заданы в табл. 2. Исходная толщина двуокиси кремния (нм) – Dox1: 100 Добавочная толщина двуокиси кремния (нм) – Dox2: 200 Температура процесса (ºС) : 1000 Атмосфера окисления: влажный О2

4 Задание: Корень нелинейного уравнения f(x)=0 считается локализованным, если найден интервал [a,b], на концах которого функция f(x) принимает противоположные значения, т.е. f(a)*f(b)